一种制备低介电常数纳米氧化硅分子筛薄膜的方法，包括纯硅分子筛纳米颗粒的制备，纯硅分子筛薄膜的合成和通过紫外光解制备低介电常数纳米氧化硅分子筛薄膜。本发明方法操作方便，能耗低，制备时间短，成本低，减少污染，同时保证介孔材料的结构不被破坏。通过本发明方法制备的薄膜介电常数ε≤2.4。 

发明专利号：200910199021.X   申请日：2009/11/19   发明人： 袁昊 李庆华 田震 解丽丽