一种制备MnO2/C复合薄膜电极材料的方法,采用磁控溅射方法制备,通过控制溅射电源功率、溅射气氛、溅射偏压、溅射压强和溅射温度得到MnO2/C复合薄膜,具体步骤为:选直径2英寸的金属Mn靶和石墨靶为靶材;Mn靶采用射频电源,射频电源功率在50～150W之间;石墨靶采用直流电源,直流电源功率30～60W之间;溅射气氛为高纯Ar和高纯O2的混合气;溅射前的基底真空小于5×10-4Pa;在溅射过程中对基底施加0～-100V溅射偏压;并将溅射压强控制在0.5～1.0Pa之间内;溅射时对溅射室温度控制在室温～300℃之间。溅射气氛流量比Ar∶O2=1∶1。本发明操作流程简单,制备的MnO2/C复合薄膜电极材料比电容高、循环稳定性好,可应用在需要高稳定性、高功率密度微型电源的场合。 

发明专利号：201110081440.0   申请日：2011/3/31   发明人：黎阳 谢华清 王继芬